QNP2-100-XYA имеют свободную апертуру 50 мм х 50 мм с траекториями перемещения по замкнутому контуру до 100 х 100 мкм (траектории движения по разомкнутому контуру до 120 х 120 мкм). Конструкция идеальна для оптической микроскопии, сканирующей зондовой микроскопии, рентгеновской трансмиссионной микроскопии и других применений, где требуется частичный доступ с двух сторон.
Точный дизайн
В пьезостолах QNP2 используется технология параллельного кинематического отклонения и измерения, которая обеспечивает высочайшую точность в многоосных системах. Точные, оптимизированные FEA отклонения обеспечивают высокую жесткость и длительный срок службы. Высокая жесткость и резонансная частота обеспечивают высокую производительность процесса и быстрое время отклика с обратной связью. Благодаря использованию запатентованной конструкции привода ошибки рыскания сводятся к минимуму при сохранении системы измерений, соответствующей требованиям Abbe.
Все пьезо столы QNP2 доступны в версиях Closed Loop (-C) или Open Loop (без обратной связи). Уникальная параллельная измерительная конструкция с емкостным датчиком напрямую измеряет выходной сигнал позиционирующего слайда и обеспечивает разрешение 0,15 нм, линейность 0,01% и двунаправленную повторяемость 1 нм.
Очень точное управление
Органы управления и приводы серии Aerotech Q предлагают ряд практических программных опций. Пакеты программного обеспечения Dynamic Controls Toolbox и Motion Designer предлагают множество продвинутых и удобных инструментов, таких как управление обучением, подавление гармоник и формирование команд, которые позволяют уменьшить количество ошибок отслеживания и сократить время установления. Архитектура управления Aerotech обеспечивает точное и скоординированное перемещение пьезо столов, сервоприводов, шаговых двигателей и гальванических механизмов на высокой скорости.
Опциональная монтажная плата обеспечивает непосредственный монтаж на имперских или метрических оптических (экспериментальная установка) столах. Фиксированные слайды также доступны по желанию. Все пьезо столы QNP2 также доступны в специальных материалах для пользователя и в версиях, изготовленных в вакууме. (JV)