Тонкокольцевые подшипники Rodriguez используются в полупроводниковой технологии, в частности, в линзовых диафрагмах фотолитографических систем. Поскольку эти диафрагмы должны быть максимально компактными и плоскими, для этого особенно подходят тонкопрофильные подшипники. Согласно Родригесу, легкие типы подшипников характеризуются небольшим поперечным сечением, которое остается неизменным даже при увеличении диаметра отверстия. Ассортимент тонких колец Kaydon насчитывает около 250 типов подшипников.
Индивидуальные специальные решения
«Тем не менее, есть много других примеров применения для тонкоподшипниковых подшипников в полупроводниковой промышленности», - говорит Ульрих Шрот, менеджер по добавленной стоимости продуктов подразделения компании Rodriguez. «На протяжении многих лет мы поставляем тонкокольцевые подшипники из нержавеющей стали Kaydon заказчику, который устанавливает их в одноплатные системы.» На основе тонкоподшипниковых подшипников компания Rodriguez также производит готовые к сборке узлы, которые точно адаптированы для соответствующего применения. Эти специальные решения для клиентов относятся к подразделению «Продукты с добавленной стоимостью». Здесь клиенты должны получать конкретные системные решения, целые сборки в небольших количествах и всестороннее комплексное обслуживание. «Здесь также есть пример из полупроводниковой технологии:Одна из наших комплексных систем зарекомендовала себя в полностью автоматизированных высокоскоростных измерительных системах для пластин », - заключает Ульрих Шрот. (Ш)